Рис. 1. Электронограмма от текстуры In2Se3.
Дифракционная картина - электронограмма - возникает в результате прохождения начального монохроматич. пучка электронов через образец и представляет собой совокупность упорядочение расположенных дифракц. пятен - рефлексов (рис. 1), к-рые определяются расположением атомов в исследуемом объекте. Рефлексы характеризуются межплоскостными расстояниями dhkl в кристалле и интенсивностью Ihkl, где h, k и l - миллеровские индексы (см. Кристаллы). По величинам и по расположению рефлексов определяют элементарную ячейку кристалла; используя также данные по интенсивности рефлексов, можно определить атомную структуру кристалла. Методы расчета атомной структуры в Э. близки к применяемым в рентгеновском структурном анализе. Расчеты, обычно проводимые на ЭВМ, позволяют установить координаты атомов, расстояния между ними и т. д. (рис. 2).
Рис. 2. Кристаллическая структура 2,5-дикетопиперазина, рассчитанная с помощью ЭВМ. Сгущение линий соответствует положениям атомов С, N, О и Н.
Электронографически можно проводить фазовый
анализ в-ва (в этом случае совокупность значений Ihkl
и dhkl сравнивают с имеющимися банками данных), можно
изучать фазовые переходы в образцах и устанавливать геом. соотношения между
возникающими фазами, исследовать полиморфизм и политипию. Методом Э. исследованы
структуры ионных кристаллов, кристаллогидратов, оксидов, карбидов и нитридов
металлов, полупроводниковых соединений, орг. в-в, полимеров, белков, разл.
минералов (в частности, слоистых силикатов) и др. Э. часто комбинируют
с электронной микроскопией высокого разрешения, позволяющей получать прямое
изображение атомной решетки кристалла.
При изучении массивных образцов используют
дифракцию электронов на отражение, когда падающий пучок как бы скользит
по пов-сти образца, проникая на глубину 5-50 нм. Дифракц. картина в этом
случае отражает структуру пов-сти. При этом можно изучать явления адсорбции
посторонних атомов, эпитаксию, процессы окисления и т. п. Если кристалл
обладает атомной структурой, близкой к идеальной, и дифракция на просвет
или на отражение происходит на глубине ~ 50 нм или более, то получается
дифракционная картина с т. наз. линиями Кикучи, на основании к-рой можно
делать выводы о совершенстве структуры.
В Э. электронов низких энергий (10-300
эВ) электроны проникают на глубину всего в 1-2 атомных слоя. По интенсивности
отраженных пучков можно установить строение поверхностной атомной решетки
кристаллов. Этим методом установлено отличие поверхностной структуры кристаллов
Ge, Si, GaAs, Mo, Au и мн. др. от внутр. структуры, т. е. наличие поверхностной
сверхструктуры. Так, напр., для Si на Грани (111) образуется структура,
обозначаемая 7 x 7, т. е. период поверхностной решетки в этом случае превышает
период внутр. атомной структуры в 7 раз, в др. кристаллах образуются поверхностные
решетки 2 х 2, 2 х 4, 4 х 4 и т. п.
В Э. при дифракции в электронном микроскопе
применяют др. спец. методы, напр. метод сходящегося пучка и нанодифракции
тонкого луча. В первом случае получают дифракц. картины, по к-рым можно
определять симметрию (пространств. группу) исследуемого кристалла. Второй
метод дает возможность изучать мельчайшие кристаллы с поперечником в неск.
нм. Известна также Э. молекул в газах, к-рая позволяет устанавливать строение
свободных молекул орг. и неорг. в-в, молекул в парах ряда соединений, напр.
галогенидов металлов.
Лит.: Вайнштейн Б. К., Структурная электронография, М., 1956; Высоковольтная электронография в исследовании слоистых минералов, М., 1979; Electron diffraction technique, v. 1-2, ed. by I. M. Cowley, Oxf., 1992-93.
Б. К. Вайнштейн.